Synthesis of Bimetallic (Ag-Au) Nanoparticles/Si Under Controlled Conditions Using A Laser-Assisted Wet KOH Etching Process

الملخص

يستخدم حفر هيدروكسيد البوتاسيوم متباين الخواص بشكل أساسي في ركيزة السليكون لصنع أهرامات على سطح ركيزة السليكون. نظرًا لأن مسار الحفر متغير وعشوائي بطبيعته، فمن الصعب التحكم في هذه العملية. خلال هذا العمل، استخدمنا إشعاع الليزر لتعديل الخصائص الطبوغرافية لركائز السليكون في جميع أنحاء ركيزة السليكون أثناء عملية الحفر الرطب مع هيدروكسيد البوتاسيوم، كطريقة فعالة للغاية وسهلة ومنخفضة التكلفة لتركيب ركائز السليكون. تلعب الاختلافات في الطول الموجي للإضاءة بالليزر دورًا مهمًا في تكوين الأسطح. تم التحكم جيدا بالجسيمات النانوية ثنائية المعدن وتم تحقيق تجميع موحد وكثيف للجسيمات النانوية ثنائية المعدن؛ تم تطوير ركائز نشطة SERS بكفاءة عالية. استخدام صور الفحص المجهري الإلكتروني (SEM) ومجهر القوة الذرية (AFM) وحيود الأشعة السينية لتقييم الاستجابة الضوئية لاسطح السليكون المخلقة.